反射鏡組件和光模塊 [0001] 本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2018年7月6日、申請(qǐng)?zhí)枮?01880040988.0、發(fā)明名稱為反射鏡組件和光模塊的專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。 技術(shù)領(lǐng)域 [0002] 本發(fā)明涉及反射鏡組件和光模塊。 背景技術(shù) [0003] 作為由SOI(Silicon?On?Insulator：絕緣體上硅結(jié)構(gòu))基片構(gòu)成的MEMS(Micro?Electro?Mechanical?Systems：微機(jī)電系統(tǒng))器件，已知有一種反射鏡器件，其包括基體和以沿著基體的厚度方向可移動(dòng)的方式被支承于基體的可動(dòng)反射鏡(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。 [0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) [0005] 專利文獻(xiàn) [0006] 專利文獻(xiàn)1：美國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)2008/0284078號(hào)說(shuō)明書(shū)。 發(fā)明內(nèi)容 [0007] 發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題 [0008] 上述那樣的反射鏡器件由于能夠提供高精度的FTIR(傅立葉變換紅外光譜儀)而受到矚目。 [0009] 本發(fā)明的目的在于提供一種適合于緊湊地構(gòu)成高精度的干涉光學(xué)系統(tǒng)的反射鏡組件以及具備這樣的反射鏡組件的光模塊。 [0010] 用于解決問(wèn)題的技術(shù)手段 [0011] 本發(fā)明的一個(gè)方面的反射鏡組件包括：反射鏡器件，其包含基體和可動(dòng)反射鏡，基體具有第1表面和與第1表面相反側(cè)的第2表面，可動(dòng)反射鏡以沿著與第1表面交叉的第1方向可移動(dòng)的方式被支承在基體；光學(xué)功能部件，其具有與第2表面相對(duì)的第3表面和與第3表面相反側(cè)的第4表面；和相對(duì)于光學(xué)功能部件配置在與反射鏡器件相反側(cè)的固定反射鏡，在反射鏡器件形成有構(gòu)成分束器組件與固定反射鏡之間的光路的第1部分的第1光通過(guò)部，其中，分束器組件與可動(dòng)反射鏡和固定反射鏡一起構(gòu)成干涉光學(xué)系統(tǒng)，在光學(xué)功能部件形成有構(gòu)成分束器組件與固定反射鏡之間的光路的第2部分的第2光通過(guò)部，基體的第2表面與光學(xué)功能部件的第3表面彼此接合在一起。 [0012] 在該反射鏡組件中，在反射鏡器件與固定反射鏡之間配置有光學(xué)功能部件，并且，該光學(xué)功能部件與反射鏡器件的基體接合在一起。因此，能夠在抑制基體的變形的狀態(tài)下穩(wěn)定地保持基體。因此，能夠在反射鏡器件使可動(dòng)反射鏡高精度地動(dòng)作。并且，在反射鏡器件形成有構(gòu)成分束器組件與固定反射鏡之間的光路的第1部分的第1光通過(guò)部，在光學(xué)功能部件形成有構(gòu)成該光路的第2部分的第2光通過(guò)部。由此，能夠在空間上高效地配置由分束器組件、可動(dòng)反射鏡和固定反射鏡構(gòu)成的干涉光學(xué)系統(tǒng)。根據(jù)以上說(shuō)明，使用該反射鏡組件能夠緊湊地構(gòu)成高精度的干涉光學(xué)系統(tǒng)。 [0013] 在本發(fā)明的一個(gè)方面的反射鏡組件中，基體的第2表面與光學(xué)功能部件的第3表面也可以通過(guò)直接鍵合而彼此接合在一起。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)反射鏡器件的基體與光學(xué)功能部件的牢固的接合。 [0014] 在本發(fā)明的一個(gè)方面的反射鏡組件中，固定反射鏡也可以形成在光學(xué)功能部件的第4表面。由此，能夠提高固定反射鏡相對(duì)于反射鏡器件的可動(dòng)反射鏡的位置精度和角度精度。 [0015] 在本發(fā)明的一個(gè)方面的反射鏡組件中，光學(xué)功能部件也可以至少在與可動(dòng)反射鏡相對(duì)的區(qū)域還具有與反射鏡器件隔開(kāi)間隔的第5表面。由此，例如即使令使可動(dòng)反射鏡沿第 1方向往復(fù)移動(dòng)(振動(dòng))的情況下的基準(zhǔn)位置處于光學(xué)功能部件的第3表面，也能夠防止可動(dòng)反射鏡與光學(xué)功能部件接觸并且使可動(dòng)反射鏡沿第1方向往復(fù)移動(dòng)。另外，使可動(dòng)反射鏡沿第1方向往復(fù)移動(dòng)的情況下的基準(zhǔn)位置能夠處于光學(xué)功能部件的第3表面，如后所述，這在對(duì)分束器組件與可動(dòng)反射鏡之間的光路和分束器組件與固定反射鏡之間的光路這兩個(gè)光路之間產(chǎn)生的光程差進(jìn)行修正時(shí)特別有效。 [0016] 在本發(fā)明的一個(gè)方面的反射鏡組件中，也可以為如下結(jié)構(gòu)：反射鏡器件由半導(dǎo)體基片構(gòu)成，半導(dǎo)體基片包含由第1半導(dǎo)體層構(gòu)成的支承層、由第2半導(dǎo)體層構(gòu)成的器件層和配置在支承層與器件層之間的由絕緣層構(gòu)成的中間層，基體的第2表面是器件層的與中間層相反側(cè)的表面，可動(dòng)反射鏡的反射鏡面設(shè)置在器件層的中間層側(cè)的表面。在半導(dǎo)體基片中，器件層比支承層薄，因此例如相比于“基體的第2表面(光學(xué)功能部件的接合面)為支承層的與中間層相反側(cè)的表面，可動(dòng)反射鏡的反射鏡面設(shè)置在器件層的與中間層相反側(cè)的表面的結(jié)構(gòu)”，能夠?qū)⒖蓜?dòng)反射鏡的反射鏡面靠近光學(xué)功能部件設(shè)置。因此，例如能夠容易地使可動(dòng)反射鏡沿第1方向往復(fù)移動(dòng)的情況下的基準(zhǔn)位置處于光學(xué)功能部件的第3表面。 [0017] 在本發(fā)明的一個(gè)方面的反射鏡組件中，光學(xué)功能部件的第5表面也可以在從第1方向看時(shí)延伸至光學(xué)功能部件的外緣。由此，即使在可動(dòng)反射鏡與光學(xué)功能部件的第5表面之間的區(qū)域存在氣體的情況下，氣體也容易從該區(qū)域排出，能夠抑制因存在于該區(qū)域中的氣體而阻礙可動(dòng)反射鏡的動(dòng)作。

1.一種反射鏡組件，其特征在于，包括： 反射鏡器件，其包含基體和可動(dòng)反射鏡，所述基體具有第1表面和與所述第1表面相反側(cè)的第2表面，所述可動(dòng)反射鏡以沿著與所述第1表面交叉的第1方向可移動(dòng)的方式被支承在所述基體；和 部件，其具有與所述第2表面相對(duì)的第3表面和與所述第3表面相反側(cè)的第4表面、以及至少在與所述可動(dòng)反射鏡相對(duì)的區(qū)域與所述反射鏡器件隔開(kāi)間隔的第5表面，所述基體的所述第2表面與所述部件的所述第3表面彼此接合在一起， 所述部件的所述第5表面從所述第1方向看延伸至所述部件的外緣， 所述可動(dòng)反射鏡和所述部件之間的區(qū)域，與從所述第1方向看時(shí)位于所述反射鏡器件的所述基體的外側(cè)的區(qū)域相連。 2.一種反射鏡組件，其特征在于，包括： 反射鏡器件，其包含基體和可動(dòng)反射鏡，所述基體具有第1表面和與所述第1表面相反側(cè)的第2表面，所述可動(dòng)反射鏡以沿著與所述第1表面交叉的第1方向可移動(dòng)的方式被支承在所述基體；和 部件，其具有與所述第2表面相對(duì)的第3表面和與所述第3表面相反側(cè)的第4表面、以及至少在與所述可動(dòng)反射鏡相對(duì)的區(qū)域與所述反射鏡器件隔開(kāi)間隔的第5表面，所述基體的所述第2表面與所述部件的所述第3表面彼此接合在一起， 所述基體的外緣的至少一部分從所述第1方向看時(shí)與所述部件的所述第5表面重疊，所述可動(dòng)反射鏡和所述部件之間的區(qū)域，與從所述第1方向看時(shí)位于所述反射鏡器件的所述基體的外側(cè)的區(qū)域相連。 3.如權(quán)利要求1或2所述的反射鏡組件，其特征在于： 所述基體的所述第2表面與所述部件的所述第3表面通過(guò)直接鍵合而彼此接合在一起。 4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的反射鏡組件，其特征在于： 所述反射鏡器件由半導(dǎo)體基片構(gòu)成， 半導(dǎo)體基片包含由第1半導(dǎo)體層構(gòu)成的支承層、由第2半導(dǎo)體層構(gòu)成的器件層和配置在所述支承層與所述器件層之間的由絕緣層構(gòu)成的中間層， 所述基體的所述第2表面是所述器件層的與所述中間層相反側(cè)的表面，所述可動(dòng)反射鏡的反射鏡面設(shè)置在所述器件層的所述中間層側(cè)的表面。 5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的反射鏡組件，其特征在于： 所述基體在包含從所述第1方向看時(shí)的所述基體的外緣的至少一部分的區(qū)域，還具有與所述部件隔開(kāi)間隔的第6表面。 6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的反射鏡組件，其特征在于： 在從所述第1方向看時(shí)，所述部件的外緣位于所述基體的外緣的外側(cè)。