一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測試方法 技術(shù)領(lǐng)域 [0001] 本發(fā)明涉及晶圓生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測試方法。 背景技術(shù) [0002] 圖像傳感器通常需要使用晶圓來制造，圖像傳感器是將光信號轉(zhuǎn)換為電信號的半導(dǎo)體器件。 [0003] 晶圓制造中，晶圓鍵合是一種用于晶圓封裝、襯底制造的工藝技術(shù)，主要是指將兩片晶圓通過化學(xué)或物理方式緊密貼合在一起，然后經(jīng)退火處理，兩片晶圓之間的界面形成化學(xué)鍵的連接，進(jìn)而形成具備一定結(jié)合強(qiáng)度的特定功能的器件。 [0004] 公開號為CN112701058B的中國發(fā)明專利公開了一種晶圓鍵合力的測試方法，包括以下步驟：使用晶圓鍵合機(jī)臺將晶圓與晶圓鍵合,使用超聲波掃描顯微鏡對鍵合后的晶圓進(jìn)行鍵合空洞掃描,晶圓通過高溫退火處理,使用超聲波掃描顯微鏡對退火處理后的晶圓再次進(jìn)行鍵合空洞掃描,使用刃形刀片勻速插入晶圓鍵合界面，等待1分鐘后由于虹吸作用去離子水會進(jìn)入晶圓之間裂縫處，形成去離子水界面介質(zhì)、將多余的去離子水用氮?dú)鈽尨蹈?，將晶圓放入載片盒內(nèi)使用超聲波掃描顯微鏡進(jìn)行第三次掃描，掃描到裂縫的形狀，大小和位置、通過超聲波掃描顯微鏡給的位置數(shù)據(jù)，得到裂縫的精準(zhǔn)長度、重復(fù)多點(diǎn)測試、將裂縫長度代入公式、計算該處鍵合力，將多點(diǎn)鍵合力數(shù)據(jù)算出平均值。 [0005] 但上述現(xiàn)有技術(shù)中，需要人工手動使用刃形刀片勻速插入晶圓鍵合界面和手動擦拭多余的去離子水，費(fèi)時費(fèi)力，降低測試效率。 發(fā)明內(nèi)容 [0006] 針對上述技術(shù)問題，本發(fā)明旨在提供一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測試方法，采用以下方法來實(shí)現(xiàn)： [0007] 一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測試方法，包括利用鍵合力測試設(shè)備對晶圓本體進(jìn)行測試； [0008] 晶圓本體包括上晶圓和下晶圓，上晶圓通過鍵合界面和下晶圓連接； [0009] 鍵合力測試設(shè)備包括底板、定位組件、吸液組件以及刀具組件； [0010] 定位組件包括加工臺以及固定板，加工臺固接于底板頂壁，固定板固接于加工臺頂壁，固定板上固接有電機(jī)，電機(jī)輸出軸上固接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上固接有傘齒輪一和直齒輪一，固定板上滑動連接有齒條和壓板，齒條和壓板固接，齒條和直齒輪一嚙合，固定板上轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)桿，轉(zhuǎn)桿上固接有傘齒輪二，傘齒輪二和傘齒輪一嚙合，轉(zhuǎn)桿底壁開設(shè)有條槽，條槽頂壁鑲嵌有電磁鐵，條槽內(nèi)壁滑動連接有插條，插條上端固接有永磁鐵一，永磁鐵一通過彈力件一和條槽頂壁連接； [0011] 吸液組件包括楔形座、彈力件三、導(dǎo)向板以及兩個活動清潔組件，楔形座滑動連接于導(dǎo)向板上，導(dǎo)向板固接于底板頂壁，楔形座底壁通過彈力件三和底板頂壁連接，活動清潔組件包括輥體、支撐塊、連接齒板、滑座、彈力件二、連接塊以及直齒輪二，輥體轉(zhuǎn)動連接于支撐塊頂壁，擦拭帶兩端分別纏繞于兩個輥體上，其中一個輥體頂壁開設(shè)有插槽，支撐塊固接于連接齒板上，連接齒板滑動連接于滑座上，滑座滑動連接于楔形座頂壁，連接塊固接于楔形座頂壁，連接塊通過彈力件二和滑座連接，兩個以上永磁鐵二鑲嵌于連接齒板上，直齒輪二轉(zhuǎn)動連接于楔形座頂壁，兩個直齒輪二分別和兩個連接齒板嚙合； [0012] 刀具組件包括安裝座、氣缸以及活塞桿，安裝座固接于活塞桿上，活塞桿連接于氣缸上，氣缸固接于底板頂壁，安裝座上鑲嵌有兩個永磁鐵四，安裝座上固接有楔形塊一和兩個傳動齒板，安裝座側(cè)壁固接有刀體。 [0013] 進(jìn)一步地，所述底板上還設(shè)有溶液添加組件，溶液添加組件包括立板、水平板以及液箱，立板固接于底板頂壁，水平板固接于立板側(cè)壁，液箱連接于水平板底壁，液箱上開設(shè)有液腔和塊槽，液腔內(nèi)填充有溶液?，液腔底壁通過液通道二和塊槽內(nèi)壁連通，液腔內(nèi)壁滑動連接有堵片，堵片底壁固接有延伸桿，延伸桿下端延伸至液箱下方，楔形塊二固接于延伸桿下端，楔形塊二通過彈力件五和液箱底壁連接，塊槽內(nèi)壁滑動連接有傳液塊，傳液塊上開設(shè)有液通道三，傳液塊通過彈性管和塊槽內(nèi)壁連接，傳液塊通過彈力件四和塊槽內(nèi)壁連接，液通道二以及液通道三分別和彈性管連通； [0014] 所述安裝座上設(shè)有凸起塊，凸起塊上設(shè)有斜面，凸起塊上開設(shè)有導(dǎo)液槽，導(dǎo)液槽通過液通道一和安裝座外壁連通，所述刀體上開設(shè)有兩個以上出液通道，出液通道和刀體外壁連通，出液通道和液通道一連通。 [0015] 進(jìn)一步地，所述液箱滑動連接于所述水平板底壁，所述液箱上開設(shè)有螺紋通道，所述立板上轉(zhuǎn)動連接有螺紋桿，螺紋桿螺紋連接于螺紋通道內(nèi)，螺紋桿一端固接有把手。 [0016] 進(jìn)一步地，所述把手上設(shè)有凹凸紋路。 [0017] 進(jìn)一步地，所述底板頂壁固接有缸架，所述氣缸固接于缸架頂壁。 [0018] 進(jìn)一步地，所述傳液塊呈L字形狀。 [0019] 進(jìn)一步地，所述堵片上設(shè)有密封層。 [0020] 進(jìn)一步地，所述擦拭帶的材質(zhì)包括棉布。 [0021] 進(jìn)一步地，所述彈性管的材質(zhì)包括聚乙烯。

1.一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測試方法，其特征是，包括利用鍵合力測試設(shè)備對晶圓本體進(jìn)行測試； 晶圓本體包括上晶圓（22）和下晶圓（23），上晶圓（22）通過鍵合界面（24）和下晶圓（23）連接； 鍵合力測試設(shè)備包括底板（1）、定位組件、吸液組件以及刀具組件； 定位組件包括加工臺（2）以及固定板（3），加工臺（2）固接于底板（1）頂壁，固定板（3）固接于加工臺（2）頂壁，固定板（3）上固接有電機(jī)（4），電機(jī)（4）輸出軸上固接有轉(zhuǎn)軸（5），轉(zhuǎn)軸（5）上固接有傘齒輪一（6）和直齒輪一（7），固定板（3）上滑動連接有齒條（8）和壓板（9），齒條（8）和壓板（9）固接，齒條（8）和直齒輪一（7）嚙合，固定板（3）上轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)桿（11），轉(zhuǎn)桿（11）上固接有傘齒輪二（10），傘齒輪二（10）和傘齒輪一（6）嚙合，轉(zhuǎn)桿（11）底壁開設(shè)有條槽（12），條槽（12）頂壁鑲嵌有電磁鐵（13），條槽（12）內(nèi)壁滑動連接有插條（16），插條（16）上端固接有永磁鐵一（15），永磁鐵一（15）通過彈力件一（14）和條槽（12）頂壁連接； 吸液組件包括楔形座（42）、彈力件三（43）、導(dǎo)向板（44）以及兩個活動清潔組件，楔形座（42）滑動連接于導(dǎo)向板（44）上，導(dǎo)向板（44）固接于底板（1）頂壁，楔形座（42）底壁通過彈力件三（43）和底板（1）頂壁連接，活動清潔組件包括輥體（17）、支撐塊（19）、連接齒板（20）、滑座（25）、彈力件二（26）、連接塊（27）以及直齒輪二（29），輥體（17）轉(zhuǎn)動連接于支撐塊（19）頂壁，擦拭帶（18）兩端分別纏繞于兩個輥體（17）上，其中一個輥體（17）頂壁開設(shè)有插槽（21），支撐塊（19）固接于連接齒板（20）上，連接齒板（20）滑動連接于滑座（25）上，滑座（25）滑動連接于楔形座（42）頂壁，連接塊（27）固接于楔形座（42）頂壁，連接塊（27）通過彈力件二（26）和滑座（25）連接，兩個以上永磁鐵二（28）鑲嵌于連接齒板（20）上，直齒輪二（29）轉(zhuǎn)動連接于楔形座（42）頂壁，兩個直齒輪二（29）分別和兩個連接齒板（20）嚙合；