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一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法

專利號(hào)
CN119542168B
公開日期
2025-03-28
申請(qǐng)人
長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司(吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)開區(qū)營(yíng)口路18號(hào))
發(fā)明人
張耀庚; 王宣歡; 常芮嘉; 王濤
IPC分類
H01L21/66; H01L21/687
技術(shù)領(lǐng)域
晶圓,永磁鐵,楔形,永磁,彈力,直齒輪,通道,齒輪,合力,插條
地域: 吉林省 吉林省長(zhǎng)春市

摘要

本發(fā)明涉及晶圓測(cè)試領(lǐng)域,提供了一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,包括利用鍵合力測(cè)試設(shè)備對(duì)晶圓本體進(jìn)行測(cè)試,晶圓本體包括上晶圓和下晶圓,上晶圓通過鍵合界面和下晶圓連接,鍵合力測(cè)試設(shè)備包括底板、定位組件、吸液組件以及刀具組件,定位組件包括加工臺(tái)以及固定板,吸液組件包括楔形座、彈力件三、導(dǎo)向板以及兩個(gè)活動(dòng)清潔組件,刀具組件包括安裝座、氣缸以及活塞桿。本發(fā)明能夠自動(dòng)對(duì)晶圓本體進(jìn)行按壓固定和解除按壓固定,能夠自動(dòng)使刀體插入鍵合界面,從而使鍵合界面產(chǎn)生鍵合裂縫,提高測(cè)試效率。

說明書

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[0042] 吸液組件包括楔形座42、彈力件三43、導(dǎo)向板44以及兩個(gè)活動(dòng)清潔組件,楔形座42滑動(dòng)連接于導(dǎo)向板44上,導(dǎo)向板44固接于底板1頂壁,楔形座42底壁通過彈力件三43和底板 1頂壁連接,活動(dòng)清潔組件包括輥體17、支撐塊19、連接齒板20、滑座25、彈力件二26、連接塊 27以及直齒輪二29,輥體17轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支撐塊19頂壁,擦拭帶18兩端分別纏繞于兩個(gè)輥體 17上,其中一個(gè)輥體17頂壁開設(shè)有插槽21,支撐塊19固接于連接齒板20上,連接齒板20滑動(dòng)連接于滑座25上,滑座25滑動(dòng)連接于楔形座42頂壁,連接塊27固接于楔形座42頂壁,連接塊 27通過彈力件二26和滑座25連接,兩個(gè)以上永磁鐵二28鑲嵌于連接齒板20上,直齒輪二29轉(zhuǎn)動(dòng)連接于楔形座42頂壁,兩個(gè)直齒輪二29分別和兩個(gè)連接齒板20嚙合; [0043] 刀具組件包括安裝座31、氣缸34以及活塞桿35,安裝座31固接于活塞桿35上,活塞桿35連接于氣缸34上,氣缸34使用壓縮空氣來驅(qū)動(dòng)活塞在缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng),從而產(chǎn)生使活塞桿35直線運(yùn)動(dòng)的動(dòng)力,氣缸34固接于底板1頂壁,安裝座31上鑲嵌有兩個(gè)永磁鐵四40,安裝座31上固接有楔形塊一41和兩個(gè)傳動(dòng)齒板30,安裝座31側(cè)壁固接有刀體36。 [0044] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述底板1上還設(shè)有溶液添加組件,溶液添加組件包括立板46、水平板47以及液箱49,立板46固接于底板1頂壁,水平板47固接于立板 46側(cè)壁,液箱49連接于水平板47底壁,液箱49上開設(shè)有液腔53和塊槽55,液腔53內(nèi)填充有溶液?,液腔53底壁通過液通道二54和塊槽55內(nèi)壁連通,液腔53內(nèi)壁滑動(dòng)連接有堵片60,堵片 60底壁固接有延伸桿61,延伸桿61下端延伸至液箱49下方,楔形塊二62固接于延伸桿61下端,楔形塊二62通過彈力件五63和液箱49底壁連接,塊槽55內(nèi)壁滑動(dòng)連接有傳液塊56,傳液塊56上開設(shè)有液通道三57,傳液塊56通過彈性管58和塊槽55內(nèi)壁連接,傳液塊56通過彈力件四59和塊槽55內(nèi)壁連接,液通道二54以及液通道三57分別和彈性管58連通; [0045] 所述安裝座31上設(shè)有凸起塊33,凸起塊33上設(shè)有斜面,凸起塊33上的斜面和楔形塊二62適配且可以相互傳動(dòng),凸起塊33上開設(shè)有導(dǎo)液槽38,導(dǎo)液槽38通過液通道一39和安裝座31外壁連通,所述刀體36上開設(shè)有兩個(gè)以上出液通道37,出液通道37和刀體36外壁連通,出液通道37和液通道一39連通。 [0046] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述液箱49滑動(dòng)連接于所述水平板47底壁,所述液箱49上開設(shè)有螺紋通道48,所述立板46上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋桿51,螺紋桿51螺紋連接于螺紋通道48內(nèi),螺紋桿51轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可以使液箱49在水平板47上水平滑動(dòng),螺紋桿51一端固接有把手52。 [0047] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述把手52上設(shè)有凹凸紋路50,從而提高用戶手和把手52之間的摩擦力,使用戶更易控制把手52轉(zhuǎn)動(dòng)。 [0048] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述底板1頂壁固接有缸架45,所述氣缸34固接于缸架45頂壁。 [0049] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述傳液塊56呈L字形狀,使其更易插入導(dǎo)液槽38內(nèi)。 [0050] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述堵片60上設(shè)有密封層,密封層可以有效對(duì)液通道二54進(jìn)行封堵。 [0051] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述擦拭帶18的材質(zhì)包括棉布,棉布的吸液性較強(qiáng),能夠有效吸收多余的溶液。 [0052] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,所述彈性管58的材質(zhì)包括聚乙烯,聚乙烯,聚乙烯是一種廣泛使用的塑料材料,具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和低溫柔韌性,根據(jù)密度的不同,聚乙烯可以分為高密度聚乙烯、中密度聚乙烯和低密度聚乙烯,其中,高密度聚乙烯因其較高的強(qiáng)度和韌性,非常適合用于作為彈性管58的材質(zhì)。 [0053] 根據(jù)本發(fā)明的一種可選的實(shí)施方式中,相鄰的所述永磁鐵二28之間的間距相等。 [0054] 實(shí)施過程:把用于制造圖像傳感器的晶圓本體放置于加工臺(tái)2頂壁,下晶圓23和加工臺(tái)2頂壁相抵,開啟電機(jī)4,電機(jī)4的輸出軸帶動(dòng)傘齒輪一6和直齒輪一7轉(zhuǎn)動(dòng),直齒輪一7帶動(dòng)齒條8、壓板9下移,從而使壓板9對(duì)上晶圓22進(jìn)行按壓固定,電機(jī)4停止運(yùn)行。電機(jī)4可以設(shè)置為剎車電機(jī),以便于保持壓板9對(duì)上晶圓22進(jìn)行按壓固定。 [0055] 開啟氣缸34使活塞桿35伸長(zhǎng),活塞桿35帶動(dòng)安裝座31、傳動(dòng)齒板30、凸起塊33、刀體36、永磁鐵四40左移,傳動(dòng)齒板30和直齒輪二29嚙合從而帶動(dòng)直齒輪二29轉(zhuǎn)動(dòng),直齒輪二 29帶動(dòng)連接齒板20右移,從而使擦拭帶18脫離鍵合界面24并移動(dòng)至鍵合界面24右方,楔形塊一41推動(dòng)楔形座42克服彈力件三43彈力沿著導(dǎo)向板44下移,擦拭帶18下移至低于下晶圓

權(quán)利要求

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5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,其特征是,所述底板(1)頂壁固接有缸架(45),所述氣缸(34)固接于缸架(45)頂壁。 6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,其特征是,所述傳液塊(56)呈L字形狀。 7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,其特征是,所述堵片(60)上設(shè)有密封層。 8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,其特征是,所述擦拭帶(18)的材質(zhì)包括棉布。 9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,其特征是,所述彈性管(58)的材質(zhì)包括聚乙烯。 10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種用于圖像傳感器制作的晶圓鍵合力測(cè)試方法,其特征是,相鄰的所述永磁鐵二(28)之間的間距相等。
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