一種集中供藥系統(tǒng)閥門(mén)分配箱的集成閥裝置與藥液供給方法 技術(shù)領(lǐng)域 [0001] 本發(fā)明涉及高端裝備制造中用于半導(dǎo)體、PCB、面板、光伏制造設(shè)備的廠(chǎng)務(wù)化學(xué)品液體輸送系統(tǒng)的技術(shù)領(lǐng)域，以供給在高端制造中使用的藥液（例如半導(dǎo)體加工使用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或去離子水），尤其是涉及一種集中供藥系統(tǒng)閥門(mén)分配箱（VMB，Valve?Manifold?Box）的集成閥裝置與藥液供給方法。 背景技術(shù) [0002] 在半導(dǎo)體晶圓、PCB電路板、顯示面板、光伏板制造工廠(chǎng)的廠(chǎng)務(wù)化學(xué)品系統(tǒng)的集中供液系統(tǒng)中，在處理藥液的供給源頭通常使用閥門(mén)分配箱（VMB，Valve?Manifold?Box）集中控制并分配處理藥液，而將該箱整合在集中供藥系統(tǒng)中，將藥液由藥液儲(chǔ)存槽分配給多個(gè)生產(chǎn)處理設(shè)備，例如作工于半導(dǎo)體晶圓的濕式處理設(shè)備。相比于距離至處理設(shè)備的距離，閥門(mén)分配箱更接近于藥液儲(chǔ)存槽。如圖1所示，早期的閥門(mén)分配箱內(nèi)的控制閥、箱內(nèi)連接管線(xiàn)等組件眾多，具體結(jié)構(gòu)依照藥液流動(dòng)方向主要包括：一個(gè)接入主供給接口的主進(jìn)閥125、多個(gè)分路手動(dòng)閥136及多個(gè)分路氣動(dòng)閥135，還包括分路預(yù)置閥139及排液閥126，主進(jìn)閥125的出口連接主路管線(xiàn)161，主路管線(xiàn)161連接有多個(gè)第一分路管線(xiàn)162，第一分路管線(xiàn)162的出口連接分路手動(dòng)閥136，分路手動(dòng)閥136的出口連接第二分路管線(xiàn)163，第二分路管線(xiàn)163的出口連接分路氣動(dòng)閥135，第二分路管線(xiàn)163分支連接預(yù)置管線(xiàn)164，預(yù)置管線(xiàn)164的出口連接分路預(yù)置閥139；主路管線(xiàn)161的末端連接排液管線(xiàn)165，排液管線(xiàn)165的出口連接排液閥 126。此外，主進(jìn)閥125的主路進(jìn)口連接主進(jìn)口管線(xiàn)，分路氣動(dòng)閥135的分路出口連接箱外分支管線(xiàn)，排液閥126出口連接箱外清洗分支管線(xiàn)（圖未繪示）。閥門(mén)分配箱內(nèi)的供液系統(tǒng)在保障生產(chǎn)連續(xù)性、提高產(chǎn)品質(zhì)量方面發(fā)揮了重要作用。隨著科技的進(jìn)步，對(duì)供液系統(tǒng)的潔凈度、可靠性和空間利用率的要求越來(lái)越高，尤其是在高潔凈度和低漏點(diǎn)風(fēng)險(xiǎn)的環(huán)境中，供液系統(tǒng)的性能直接影響到生產(chǎn)的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量?，F(xiàn)有集中供藥系統(tǒng)的閥門(mén)分配箱具有空間占用大的問(wèn)題，傳統(tǒng)集中供液系統(tǒng)需要大量的閥門(mén)和管道組件，導(dǎo)致系統(tǒng)整體體積龐大，占用寶貴的生產(chǎn)空間，而且組裝成本高、高質(zhì)量的閥門(mén)和管道材料成本較高，增加集中供液系統(tǒng)的總體成本；加上接頭死區(qū)多，集中供液系統(tǒng)中存在大量接頭，容易形成死區(qū)，降低集中供液系統(tǒng)的潔凈度。當(dāng)接頭越多，漏點(diǎn)風(fēng)險(xiǎn)越多，影響集中供液系統(tǒng)的可靠性。 [0003] 發(fā)明公開(kāi)專(zhuān)利CN107202180A公開(kāi)一種應(yīng)用于有限空間流體回路的集成閥組，將自動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥、流量計(jì)、壓力計(jì)和溫度計(jì)以及各流體輸入輸出管道均集成在一起，極大程度上減少了管路中使用過(guò)多的轉(zhuǎn)接、彎頭、三通等部件，從而降低了有限空間內(nèi)的回流系統(tǒng)布置的復(fù)雜性，并降低了系統(tǒng)內(nèi)流體泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，提升了系統(tǒng)的安全性。但相關(guān)技術(shù)中，三條（多條）支路流體道設(shè)置在閥組內(nèi)，不具有支路擴(kuò)充性。并且，在流體輸入模塊表面配置流體輸入總管道的入口與多個(gè)流體輸入分支管道的出口，各支路上分別安裝流量傳感器進(jìn)行流量測(cè)量，接著進(jìn)入電動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥，三路流量以電量調(diào)節(jié)，沒(méi)有考慮到廠(chǎng)務(wù)生產(chǎn)中遇到緊急情況如何對(duì)集成閥組進(jìn)行主支路的強(qiáng)制控制,故對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，若集成閥組要應(yīng)用到閥門(mén)分配箱（VMB），在總?cè)肟谂c各分支出口還要分別外接安裝入口強(qiáng)制控制閥與在各分支出口強(qiáng)制控制閥，不利于閥門(mén)分配箱（VMB）的箱空間縮小化技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)。 [0004] 實(shí)用新型專(zhuān)利CN217130980U公開(kāi)一種流體分流與控制集成模塊，包括分流件，分流件包括分流箱及設(shè)置在分流箱內(nèi)部的進(jìn)水管道以及多個(gè)出水管道，分流箱的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有進(jìn)水口以及多個(gè)出水口，進(jìn)水管道的進(jìn)水端與進(jìn)水口密封連通，進(jìn)水管道的出水端與多個(gè)出水管道的進(jìn)水端密封連通，多個(gè)出水管道的出水端分別與多個(gè)出水口密封連通；管道流通控制件設(shè)在分流箱的側(cè)壁上，且與出水管道的進(jìn)水端相連接；管道流量調(diào)節(jié)件設(shè)在分流箱的側(cè)壁上，且與出水管道的出水端相連接。將流體控制的各個(gè)部件，即管道、電磁控制閥、調(diào)節(jié)閥等集成在分流件上。在相關(guān)技術(shù)中提出了分流件集成的概念，以電磁控制閥控制分流件內(nèi)流道的開(kāi)關(guān)，電驅(qū)動(dòng)不具備主支路強(qiáng)制控制的功能，并且分流件的集成式閥體承擔(dān)了管道的功能，集成式閥體內(nèi)的流道設(shè)計(jì)較為復(fù)雜且長(zhǎng)，在長(zhǎng)時(shí)間維護(hù)下或是緊急停機(jī)的場(chǎng)合，集成式閥體容易受到處理藥液在靜置狀態(tài)下的腐蝕或是沉積。

1.一種集中供藥系統(tǒng)閥門(mén)分配箱的集成閥裝置，其特征在于，包括： 主路三通閥，模組化安裝在底板上，所述主路三通閥具有朝向箱正面的主進(jìn)口、位于背面的排液口及T形流道豎段位于閥側(cè)面的主出口；所述主路三通閥包括主路閥體及設(shè)置在同一所述主路閥體上的主路控制閥件與排液開(kāi)關(guān)閥件，所述主路控制閥件與所述排液開(kāi)關(guān)閥件的控制點(diǎn)分別位于所述主路三通閥T形流道橫段的兩端，所述主路控制閥件用于開(kāi)啟與關(guān)閉所述主進(jìn)口與所述主出口之間的連通； 分路三通閥，模組化安裝在所述底板上而并排連接在所述主路三通閥的一側(cè)，所述分路三通閥具有位于兩對(duì)應(yīng)閥側(cè)面的延伸進(jìn)口與擴(kuò)展口以及T形流道豎段朝向箱正面的分路出口，相對(duì)鄰近所述主路三通閥的分路三通閥的延伸進(jìn)口直接連接所述主路三通閥的主出口；所述分路三通閥包括分路閥體及設(shè)置在同一所述分路閥體上且位于所述分路三通閥的T形流道豎段的分路控制閥件與強(qiáng)制開(kāi)關(guān)閥件，所述分路控制閥件與所述強(qiáng)制開(kāi)關(guān)閥件的控制點(diǎn)分別位于所述分路三通閥的T形流道豎段的延伸端與連接端； 封阻件，結(jié)合于相對(duì)遠(yuǎn)離所述主路三通閥的分路三通閥的擴(kuò)展口； 其中，所述主路三通閥的主進(jìn)口與所述分路三通閥的分路出口皆朝向所述底板的同一側(cè)邊，所述主路三通閥的主進(jìn)口相對(duì)潰縮于所述分路三通閥的分路出口；所述分路三通閥的T形流道橫段與所述主路三通閥的T形流道豎段組成閥內(nèi)拼接式主流道，所述分路三通閥的T形流道豎段為閥內(nèi)分支流道； 所述主路控制閥件與所述強(qiáng)制開(kāi)關(guān)閥件為線(xiàn)性排列，用于辨識(shí)主分路強(qiáng)制控制情況； 所述分路三通閥還具有朝向箱正面的預(yù)置口，繞過(guò)所述分路控制閥件而連通至所述分路三通閥的T形流道豎段； 所述預(yù)置口的孔徑小于所述分路出口的孔徑，所述分路控制閥件的開(kāi)關(guān)能改變分路供液量；所述分路三通閥的T形流道豎段包括具有一長(zhǎng)一短的V形縱向切面的第一中間流道，所述第一中間流道的一端與所述分路出口之間連接有水平段，所述第一中間流道的另一端與所述分路三通閥的T形流道橫段之間連接有豎立段； 基于一長(zhǎng)一短的V形縱向切面的第一中間流道，液體在流入所述分路三通閥時(shí)能夠沿著預(yù)定路徑平穩(wěn)流動(dòng)，減少湍流和阻力，提高流體的流通效率。