一種集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置與藥液供給方法 技術領域 [0001] 本發(fā)明涉及高端裝備制造中用于半導體、PCB、面板、光伏制造設備的廠務化學品液體輸送系統(tǒng)的技術領域，以供給在高端制造中使用的藥液（例如半導體加工使用的強酸、強堿或去離子水），尤其是涉及一種集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱（VMB，Valve?Manifold?Box）的集成閥裝置與藥液供給方法。 背景技術 [0002] 在半導體晶圓、PCB電路板、顯示面板、光伏板制造工廠的廠務化學品系統(tǒng)的集中供液系統(tǒng)中，在處理藥液的供給源頭通常使用閥門分配箱（VMB，Valve?Manifold?Box）集中控制并分配處理藥液，而將該箱整合在集中供藥系統(tǒng)中，將藥液由藥液儲存槽分配給多個生產(chǎn)處理設備，例如作工于半導體晶圓的濕式處理設備。相比于距離至處理設備的距離，閥門分配箱更接近于藥液儲存槽。如圖1所示，早期的閥門分配箱內(nèi)的控制閥、箱內(nèi)連接管線等組件眾多，具體結構依照藥液流動方向主要包括：一個接入主供給接口的主進閥125、多個分路手動閥136及多個分路氣動閥135，還包括分路預置閥139及排液閥126，主進閥125的出口連接主路管線161，主路管線161連接有多個第一分路管線162，第一分路管線162的出口連接分路手動閥136，分路手動閥136的出口連接第二分路管線163，第二分路管線163的出口連接分路氣動閥135，第二分路管線163分支連接預置管線164，預置管線164的出口連接分路預置閥139；主路管線161的末端連接排液管線165，排液管線165的出口連接排液閥 126。此外，主進閥125的主路進口連接主進口管線，分路氣動閥135的分路出口連接箱外分支管線，排液閥126出口連接箱外清洗分支管線（圖未繪示）。閥門分配箱內(nèi)的供液系統(tǒng)在保障生產(chǎn)連續(xù)性、提高產(chǎn)品質(zhì)量方面發(fā)揮了重要作用。隨著科技的進步，對供液系統(tǒng)的潔凈度、可靠性和空間利用率的要求越來越高，尤其是在高潔凈度和低漏點風險的環(huán)境中，供液系統(tǒng)的性能直接影響到生產(chǎn)的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量?，F(xiàn)有集中供藥系統(tǒng)的閥門分配箱具有空間占用大的問題，傳統(tǒng)集中供液系統(tǒng)需要大量的閥門和管道組件，導致系統(tǒng)整體體積龐大，占用寶貴的生產(chǎn)空間，而且組裝成本高、高質(zhì)量的閥門和管道材料成本較高，增加集中供液系統(tǒng)的總體成本；加上接頭死區(qū)多，集中供液系統(tǒng)中存在大量接頭，容易形成死區(qū)，降低集中供液系統(tǒng)的潔凈度。當接頭越多，漏點風險越多，影響集中供液系統(tǒng)的可靠性。 [0003] 發(fā)明公開專利CN107202180A公開一種應用于有限空間流體回路的集成閥組，將自動流量調(diào)節(jié)閥、流量計、壓力計和溫度計以及各流體輸入輸出管道均集成在一起，極大程度上減少了管路中使用過多的轉接、彎頭、三通等部件，從而降低了有限空間內(nèi)的回流系統(tǒng)布置的復雜性，并降低了系統(tǒng)內(nèi)流體泄漏的風險，提升了系統(tǒng)的安全性。但相關技術中，三條（多條）支路流體道設置在閥組內(nèi)，不具有支路擴充性。并且，在流體輸入模塊表面配置流體輸入總管道的入口與多個流體輸入分支管道的出口，各支路上分別安裝流量傳感器進行流量測量，接著進入電動流量調(diào)節(jié)閥，三路流量以電量調(diào)節(jié)，沒有考慮到廠務生產(chǎn)中遇到緊急情況如何對集成閥組進行主支路的強制控制,故對本領域技術人員來說，若集成閥組要應用到閥門分配箱（VMB），在總入口與各分支出口還要分別外接安裝入口強制控制閥與在各分支出口強制控制閥，不利于閥門分配箱（VMB）的箱空間縮小化技術發(fā)展趨勢。 [0004] 實用新型專利CN217130980U公開一種流體分流與控制集成模塊，包括分流件，分流件包括分流箱及設置在分流箱內(nèi)部的進水管道以及多個出水管道，分流箱的側壁上開設有進水口以及多個出水口，進水管道的進水端與進水口密封連通，進水管道的出水端與多個出水管道的進水端密封連通，多個出水管道的出水端分別與多個出水口密封連通；管道流通控制件設在分流箱的側壁上，且與出水管道的進水端相連接；管道流量調(diào)節(jié)件設在分流箱的側壁上，且與出水管道的出水端相連接。將流體控制的各個部件，即管道、電磁控制閥、調(diào)節(jié)閥等集成在分流件上。在相關技術中提出了分流件集成的概念，以電磁控制閥控制分流件內(nèi)流道的開關，電驅(qū)動不具備主支路強制控制的功能，并且分流件的集成式閥體承擔了管道的功能，集成式閥體內(nèi)的流道設計較為復雜且長，在長時間維護下或是緊急停機的場合，集成式閥體容易受到處理藥液在靜置狀態(tài)下的腐蝕或是沉積。

1.一種集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，其特征在于，包括： 主路三通閥，模組化安裝在底板上，所述主路三通閥具有朝向箱正面的主進口、位于背面的排液口及T形流道豎段位于閥側面的主出口；所述主路三通閥包括主路閥體及設置在同一所述主路閥體上的主路控制閥件與排液開關閥件，所述主路控制閥件與所述排液開關閥件的控制點分別位于所述主路三通閥T形流道橫段的兩端，所述主路控制閥件用于開啟與關閉所述主進口與所述主出口之間的連通； 分路三通閥，模組化安裝在所述底板上而并排連接在所述主路三通閥的一側，所述分路三通閥具有位于兩對應閥側面的延伸進口與擴展口以及T形流道豎段朝向箱正面的分路出口，相對鄰近所述主路三通閥的分路三通閥的延伸進口直接連接所述主路三通閥的主出口；所述分路三通閥包括分路閥體及設置在同一所述分路閥體上且位于所述分路三通閥的T形流道豎段的分路控制閥件與強制開關閥件，所述分路控制閥件與所述強制開關閥件的控制點分別位于所述分路三通閥的T形流道豎段的延伸端與連接端； 封阻件，結合于相對遠離所述主路三通閥的分路三通閥的擴展口； 其中，所述主路三通閥的主進口與所述分路三通閥的分路出口皆朝向所述底板的同一側邊，所述主路三通閥的主進口相對潰縮于所述分路三通閥的分路出口；所述分路三通閥的T形流道橫段與所述主路三通閥的T形流道豎段組成閥內(nèi)拼接式主流道，所述分路三通閥的T形流道豎段為閥內(nèi)分支流道； 所述主路控制閥件與所述強制開關閥件為線性排列，用于辨識主分路強制控制情況； 所述分路三通閥還具有朝向箱正面的預置口，繞過所述分路控制閥件而連通至所述分路三通閥的T形流道豎段； 所述預置口的孔徑小于所述分路出口的孔徑，所述分路控制閥件的開關能改變分路供液量；所述分路三通閥的T形流道豎段包括具有一長一短的V形縱向切面的第一中間流道，所述第一中間流道的一端與所述分路出口之間連接有水平段，所述第一中間流道的另一端與所述分路三通閥的T形流道橫段之間連接有豎立段； 基于一長一短的V形縱向切面的第一中間流道，液體在流入所述分路三通閥時能夠沿著預定路徑平穩(wěn)流動，減少湍流和阻力，提高流體的流通效率。