[0005] 發(fā)明公開專利CN118463036A公開一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，儲(chǔ)罐出液口通過管道連接截止閥，輸送泵設(shè)置在截止閥與氣動(dòng)閥之間管道上，氣動(dòng)閥通過管道連接VMB閥箱，氣動(dòng)閥與VMB閥箱之間管道上設(shè)脈動(dòng)阻尼器和壓力計(jì)，VMB閥箱通過管道外接機(jī)臺用液點(diǎn)。輸送泵、氣動(dòng)閥、壓力計(jì)、VMB閥箱和機(jī)臺用液點(diǎn)分別信號連接控制模塊。系統(tǒng)傳輸管路上膜片式脈動(dòng)阻尼器可吸收化學(xué)品管道系統(tǒng)中的壓力波和脈動(dòng)流的能量，使管路系統(tǒng)流量更加平穩(wěn)。然而，對于VMB閥箱的箱空間縮小化沒有技術(shù)啟示。 [0006] 發(fā)明公開專利CN109564885A公開一種液體輸送系統(tǒng)，能夠分配液體化學(xué)品，系統(tǒng)分為三個(gè)層：頂層的有源部件(如流量控制器、壓力傳感器、流量測量傳感器、壓力調(diào)節(jié)器、閥門等)；第二中間層的襯底塊(用于形成有源部件之間的流體連接)；以及底板，用作整個(gè)系統(tǒng)的支撐結(jié)構(gòu)。主要改良點(diǎn)在襯底塊，每個(gè)襯底塊具有至少一個(gè)流體通道，該流體通道具有接入到公共表面的入口和出口。公共表面用于安裝標(biāo)準(zhǔn)的有源部件，如流量控制器、壓力傳感器、流量測量傳感器、壓力調(diào)節(jié)器、閥門等。即相關(guān)技術(shù)中，提出了U性流道模塊化以取代管道的概念，控制閥門設(shè)置在襯底塊上。然而，僅有一個(gè)入口和一個(gè)出口的襯底塊不能建立主路流道與分路流道的連接，這意味著主路流道與分路流道的連接機(jī)制要建立在頂層，但是未揭露具體結(jié)構(gòu)，本領(lǐng)域技術(shù)人員無從得知如何整合。 [0007] 綜上，傳統(tǒng)用于生產(chǎn)廠務(wù)的集中供液系統(tǒng)空間占用大，需要大量的閥門和管件，導(dǎo)致閥門分配箱的整體體積龐大，占用寶貴的生產(chǎn)空間，并且閥門和管道材料多，不僅維護(hù)成本高，且接頭死區(qū)多，若閥門分配箱內(nèi)存在大量接頭，還容易形成藥液流動(dòng)死區(qū)，容易發(fā)生漏點(diǎn)，使得閥門分配箱的可靠性受到影響。若簡單整合外接管線于控制閥內(nèi)，則將使控制閥內(nèi)流道形狀變得更復(fù)雜，導(dǎo)致難以清洗。因此，亟需一種箱空間縮小、少量接頭還能整合強(qiáng)制控制閥且容易清洗的集成閥裝置。 發(fā)明內(nèi)容 [0008] 本發(fā)明的主要目的一是提供一種集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，主要進(jìn)步在于縮小集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱（VMB）的箱空間，大幅減少閥體數(shù)量與連接管道，并且具有分路可擴(kuò)充、強(qiáng)制開關(guān)控制且容易清洗的功能，符合VMB縮小化發(fā)展趨勢。 [0009] 本發(fā)明的主要目的二是提供一種集中供藥系統(tǒng)的藥液供給方法，利用本發(fā)明實(shí)施例提供的集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，能實(shí)現(xiàn)分路供液的模組化擴(kuò)展并整合強(qiáng)制開關(guān)閥件，還具有閥內(nèi)拼接式主流道的容易清洗特性。 [0010] 本發(fā)明的主要目的一是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的，提出一種集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，包括： [0011] 主路三通閥，模組化安裝在底板上，所述主路三通閥具有朝向箱正面的主進(jìn)口、位于背面的排液口及T形流道豎段位于閥側(cè)面的主出口；所述主路三通閥包括主路閥體及設(shè)置在同一所述主路閥體上的主路控制閥件與排液開關(guān)閥件，所述主路控制閥件與所述排液開關(guān)閥件的控制點(diǎn)分別位于所述主路三通閥T形流道橫段的兩端，所述主路控制閥件用于開啟與關(guān)閉所述主進(jìn)口與所述主出口之間的連通； [0012] 分路三通閥，模組化安裝在所述底板上而并排連接在所述主路三通閥的一側(cè)，所述分路三通閥具有位于兩對應(yīng)閥側(cè)面的延伸進(jìn)口與擴(kuò)展口以及T形流道豎段朝向箱正面的分路出口，相對鄰近所述主路三通閥的分路三通閥的延伸進(jìn)口直接連接所述主路三通閥的主出口；所述分路三通閥包括分路閥體及設(shè)置在同一所述分路閥體上且位于所述分路三通閥的T形流道豎段的分路控制閥件與強(qiáng)制開關(guān)閥件，所述分路控制閥件與所述強(qiáng)制開關(guān)閥件的控制點(diǎn)分別位于所述分路三通閥的T形流道豎段的延伸端與連接端； [0013] 封阻件，結(jié)合于相對遠(yuǎn)離所述主路三通閥的分路三通閥的擴(kuò)展口； [0014] 其中，所述主路三通閥的主進(jìn)口與所述分路三通閥的分路出口皆朝向所述底板的同一側(cè)邊，所述主路三通閥的主進(jìn)口相對潰縮于所述分路三通閥的分路出口；所述分路三通閥的T形流道橫段與所述主路三通閥的T形流道豎段組成閥內(nèi)拼接式主流道，所述分路三通閥的T形流道豎段為閥內(nèi)分支流道。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，其特征在于，所述分路三通閥的延伸進(jìn)口具有軟管部，所述軟管部的開口內(nèi)設(shè)置有內(nèi)撐環(huán)，所述分路三通閥的擴(kuò)展口與所述主路三通閥的主出口設(shè)有緊迫旋環(huán)，以直接旋緊所述軟管部與所述內(nèi)撐環(huán)在對應(yīng)擴(kuò)展口或主出口。 3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，其特征在于，所述分路三通閥的所述內(nèi)撐環(huán)具有卡合部，所述分路三通閥的擴(kuò)展口與所述主路三通閥的主出口具有對應(yīng)的卡接環(huán)槽。 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，其特征在于，所述封阻件選自于封口塞與清洗三通閥中的一種，所述清洗三通閥與所述主路三通閥具有對稱相同的結(jié)構(gòu)，所述清洗三通閥模組化安裝在所述底板上而位于所述分路三通閥并排連接的延伸側(cè)，當(dāng)所述主路三通閥關(guān)閉，所述清洗三通閥開啟，用以清洗所述閥內(nèi)拼接式主流道。 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置，其特征在于，所述排液開關(guān)閥件用于開啟與關(guān)閉所述主出口與所述排液口之間的連通；所述主路三通閥的T形流道橫段包括具有一長一短的V形縱向切面的第二中間流道，所述第二中間流道的一端連接外環(huán)連通所述主出口的環(huán)腔，所述中間流道的另一端與所述排液口之間連接有水平段。 6.一種集中供藥系統(tǒng)的藥液供給方法，其特征在于，包括步驟： S1、設(shè)置如權(quán)利要求1所述的一種集中供藥系統(tǒng)閥門分配箱的集成閥裝置在閥門分配箱中，所述分路三通閥的數(shù)量能夠模組化擴(kuò)展在所述底板上； S2、供液過程中，所述主路三通閥的主路控制閥件與所述分路三通閥的強(qiáng)制開關(guān)閥件保持開啟狀態(tài)，所述主路三通閥的排液開關(guān)閥件保持關(guān)閉狀態(tài)，以所述分路三通閥的分路控制閥件的個(gè)別開關(guān)控制分路供液的連通，控制各分路在對應(yīng)分路出口的供液量變化； S3、第一維護(hù)過程中，關(guān)閉所述主路三通閥的主路控制閥件，并開啟所述主路三通閥的排液開關(guān)閥件。 7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集中供藥系統(tǒng)的藥液供給方法，其特征在于： 步驟S1中，所述分路三通閥還具有朝向箱正面的預(yù)置口繞過所述分路控制閥件而連通至所述分路三通閥的T形流道豎段，所述預(yù)置口的孔徑小于所述分路出口的孔徑；步驟S2中，所述分路控制閥件的開關(guān)能改變分路供液量；