[0015] 此一基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)示例的實(shí)施原理是，利用閥內(nèi)拼接式主流道的組合結(jié)構(gòu)以及與分支流道一體連接在分路三通閥內(nèi)的組合方式，顯著減少大比例的獨(dú)立閥門和具有接口的外接管線（具體可節(jié)省90%以上組件），大幅降低閥門分配箱的箱內(nèi)空間占用和維護(hù)成本，該裝置還降低了漏點(diǎn)隱患，提高了集中供藥系統(tǒng)的可靠性和安全性。同時(shí)，整合分路控制閥件與強(qiáng)制開關(guān)閥件在分路三通閥中，能減少接頭死區(qū)，提升集中供藥系統(tǒng)的供液潔凈度，確保藥液（具體如半導(dǎo)體制造的超純化學(xué)品）的傳輸質(zhì)量。此外，整合主路控制閥件與排液開關(guān)閥件在主路三通閥中，容易清洗閥內(nèi)拼接式主流道，提高系統(tǒng)清潔度和維護(hù)便利性，確保系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。通過主路三通閥和分路三通閥的并排連接，實(shí)現(xiàn)分路三通閥的無限擴(kuò)展，能夠靈活應(yīng)對(duì)不同分路需求的閥門分配箱，增強(qiáng)集中供藥系統(tǒng)的適用性和靈活性。另外,面向閥門分配箱的正面，利用主路三通閥的主進(jìn)口相對(duì)潰縮于分路三通閥的分路出口，便于分辨主管線與分支管線的連接。具體來說，效果表現(xiàn)在以下幾點(diǎn)： [0016] 1.?主路三通閥和分路三通閥模組化安裝在底板上，使得閥門分配箱結(jié)構(gòu)尺寸小巧化，易于擴(kuò)展和維護(hù)； [0017] 2.?分路三通閥的延伸進(jìn)口直接連接主路三通閥的主出口或相鄰分路三通閥的擴(kuò)展口，整并了主流道的管線連接，減少流體阻力，提高流體流通效率； [0018] 3.?封阻件結(jié)合于相對(duì)遠(yuǎn)離主路三通閥的分路三通閥的擴(kuò)展口，有效防止液體泄露，提高系統(tǒng)的安全性和可靠性； [0019] 4.?主路三通閥的主進(jìn)口與分路三通閥的分路出口朝向同一側(cè)邊，主進(jìn)口相對(duì)潰縮于分路出口，防止誤接，并優(yōu)化流體路徑，減少壓力損失； [0020] 5.?主路三通閥的T形流道豎段與分路三通閥的T形流道橫段組成的閥內(nèi)拼接式主流道，進(jìn)一步提高系統(tǒng)的潔凈度和穩(wěn)定性。 [0021] 本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述分路三通閥的延伸進(jìn)口具有軟管部，所述軟管部的開口內(nèi)設(shè)置有內(nèi)撐環(huán)，所述分路三通閥的擴(kuò)展口與所述主路三通閥的主出口設(shè)有緊迫旋環(huán)，以直接旋緊所述軟管部與所述內(nèi)撐環(huán)在對(duì)應(yīng)擴(kuò)展口或主出口。 [0022] 通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用分路三通閥的延伸進(jìn)口具有軟管部，軟管部的開口內(nèi)設(shè)置有內(nèi)撐環(huán)，分路三通閥的擴(kuò)展口與主路三通閥的主出口設(shè)有緊迫旋環(huán)，直接旋緊軟管部與內(nèi)撐環(huán)在對(duì)應(yīng)擴(kuò)展口或主出口。此一結(jié)構(gòu)確定了分路三通閥兩側(cè)不需要管線的直接連接，減少了接口數(shù)量，從而顯著降低系統(tǒng)空間占用和成本，還減少接頭死區(qū)，提升系統(tǒng)潔凈度。同時(shí)，分路模塊閥與兩側(cè)組件的連接更加穩(wěn)固，降低漏點(diǎn)隱患。此外，分路三通閥的無限擴(kuò)展性得到了保障，能夠靈活應(yīng)對(duì)不同分路需求，增強(qiáng)系統(tǒng)適用性和靈活性。 [0023] 本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述分路三通閥的所述內(nèi)撐環(huán)具有卡合部，所述分路三通閥的擴(kuò)展口與所述主路三通閥的主出口具有對(duì)應(yīng)的卡接環(huán)槽。 [0024] 通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用分路三通閥的內(nèi)撐環(huán)具有卡合部、分路三通閥的擴(kuò)展口與主出口具有對(duì)應(yīng)的卡接環(huán)槽，使得內(nèi)撐環(huán)不易脫出，不僅增強(qiáng)了連接部位的密封性能，還減少漏點(diǎn)風(fēng)險(xiǎn)、簡(jiǎn)化連接方式、降低安裝難度、提高系統(tǒng)可靠性和穩(wěn)定性。 [0025] 本發(fā)明在較佳示例中可以進(jìn)一步配置為，所述封阻件選自于封口塞與清洗三通閥中的一種，所述清洗三通閥與所述主路三通閥具有對(duì)稱相同的結(jié)構(gòu)，所述清洗三通閥模組化安裝在所述底板上而位于所述分路三通閥并排連接的延伸側(cè)，當(dāng)所述主路三通閥關(guān)閉，所述清洗三通閥開啟，用以清洗所述閥內(nèi)拼接式主流道。 [0026] 通過采用上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)，利用封阻件顯著提高了系統(tǒng)清潔度和維護(hù)便利性。具體表現(xiàn)如下幾點(diǎn)： [0027] 1.?封阻件的選擇：封阻件可以選擇封口塞或清洗三通閥，即最遠(yuǎn)離主路三通閥的分路三通閥的擴(kuò)展口既能接合封口塞也能連接清洗三通閥；當(dāng)選擇封口塞時(shí)，能夠有效防止液體泄露，提高系統(tǒng)的安全性和可靠性，在拔除該封口塞后即可清洗閥內(nèi)拼接式主流道； 當(dāng)選擇清洗三通閥時(shí)，清洗三通閥與主路三通閥具有對(duì)應(yīng)相同的結(jié)構(gòu)，模組化安裝在底板上；當(dāng)主路三通閥關(guān)閉，清洗三通閥開啟時(shí)，可以供給清洗藥水以清洗閥內(nèi)拼接式主流道，確保系統(tǒng)的清潔度和供液質(zhì)量； [0028] 2.?清洗功能的實(shí)現(xiàn)：通過清洗三通閥的設(shè)計(jì)，能夠在不影響其他部分的情況下，單獨(dú)清洗閥內(nèi)拼接式主流道，減少了系統(tǒng)中的污染物積累，延長(zhǎng)系統(tǒng)的使用壽命，提高系統(tǒng)的可靠性和安全性； [0029] 3.?維護(hù)的便利性：封阻件的模組化結(jié)合使得系統(tǒng)內(nèi)組件更換和維護(hù)變得更加簡(jiǎn)便，可以根據(jù)需要快速更換封口塞或清洗三通閥，無需拆卸整個(gè)系統(tǒng)，大大縮短維護(hù)時(shí)間，提高系統(tǒng)的可用性； [0030] 綜上所述，前述基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)結(jié)合優(yōu)選技術(shù)特點(diǎn)的整體不僅提高系統(tǒng)的清潔度和可靠性，還增強(qiáng)系統(tǒng)的維護(hù)便利性。

步驟S1中，所述封阻件為清洗三通閥，所述清洗三通閥與所述主路三通閥具有對(duì)稱相同的結(jié)構(gòu)，所述清洗三通閥模組化安裝在所述底板上而位于所述分路三通閥并排連接的延伸側(cè)；步驟S3中，第二維護(hù)過程中，關(guān)閉所述分路三通閥的強(qiáng)制開關(guān)閥件，并開啟所述清洗三通閥，供給清洗藥水以清洗所述閥內(nèi)拼接式主流道至所述排液口。